| 分享: |
推薦產(chǎn)品
01EDS系列真空機(jī)組MICROWAY邁科微MHS系列混合干泵,采用自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),擁有大通徑、無(wú)死角的優(yōu)勢(shì),排氣孔溫度可控,解決了結(jié)焦、碳化等行業(yè)痛點(diǎn),在同等抽氣能力下?lián)碛懈偷哪芎?、更小的體積、更低的噪音和更便捷的維護(hù),可應(yīng)用于泛半導(dǎo)體清潔工藝、一般工藝和苛刻工藝制程,性能穩(wěn)定。EDS系列干泵機(jī)組主要應(yīng)用于高頻節(jié)拍的真空應(yīng)用,包括大面積鍍膜(如光伏玻璃、建筑玻璃、柔性基材)的連續(xù)涂布工藝,具有更快的抽氣速率,耐粉塵、高速氣流及腐蝕介質(zhì)帶來(lái)的磨損,可保持在粗真空階段的穩(wěn)定運(yùn)行。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):1、能耗低,節(jié)能超競(jìng)品50%;2、高響應(yīng),適用高節(jié)拍工藝;3、大抽速。
DIC 2026
展會(huì)咨詢(xún)



![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
世展網(wǎng)公眾號(hào) |
微信小程序 |
國(guó)內(nèi)展客服 |
國(guó)外展客服 |
門(mén)票客服 |

